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재료 및 성능 매개변수
제품 설명
고급 인터디지테이티드 전극 ESC
클램프된 기판 재료
실리콘, 사파이어, 유리,
전극 간격
≥ 0.3mm
청정
> 99.9% 알루미나
저항률
> 1.0 E15 Ω.cm
전류 누설
< 1μA
유전율
7.2 - 7.5 @ 1MHz
파괴 전압
> 20kV/mm
일반적인 작동 전압
± 1000V ~ ± 4000V
클램핑 힘/압력
> 50 Torr, < 2 sccm 가스 누출률
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
참고문헌 1(표준 ESC)
제품 설명
표준 ESC
청정
> 99.9% 알루미나
저항률
> 1.0 E15 Ω.cm
Current Leakage
< 1μA
유전율
7.2 - 7.5 @ 1MHz
파괴 전압
> 20kV/mm
일반적인 작동 전압
± 800V ~ ± 4000V
클램핑 힘/압력
> 50 Torr with < 2 sccm Gas Leak Rate
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
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