하이브리드 정전 척
25년 이상의 경험을 바탕으로, Hybrid Electrostatic (HES) Industries, LLC.는 고객 기대에 부응하고 이를 뛰어넘는 맞춤형 ESC를 제공하기 위해 컨설팅 방식을 적용합니다.
산업 초점
도구 제조업체
반도체
리소그래피
태양열
주도의
멤스
응용 프로그램
에칭 공정
HPD-CVD 및 PVD
이온 주입
계측학
유전체 기판(LED 및 태양광 응용 분야)
산업 표준
품질, 포장, 성능 및 청결을 포함한 주요 OEM 사양 준수
파일 형식
대부분의 소프트웨어(Solidworks, IGES, STEP, DXF)를 가져올 수 있습니다.
정전 척
CVD, 플라즈마 에칭, 이온 임플란트, 계측 등 반도체 도구에 사용되는 광범위한 정전 척입니다.
척의 크기는 100mm에서 450mm까지 다양합니다.
HES Industries, LLC.에서는 각 고객의 요구에 따라 현장에서 입증된 성능을 위해 이러한 제품을 설계, 제조하고 완벽하게 테스트합니다.
높은 순도, 낮은 입자 발생량, 긴 공정 수명이 입증되었습니다.
HES Industries는 고객과 협력하여 복잡한 제품 개발을 위한 완벽한 솔루션을 개발합니다.
혁신적인 제조
HES Industries는 각 고객에게 맞춤형 서비스와 설계를 제공하여 해당 응용 분야에 맞는 정전 척(ESC)을 생산하는 데 전념하는 전담 R&D 및 엔지니어링 직원을 고용하고 있습니다.
인터디지티드 전극 설계를 적용한 하이브리드 ESC
There is a high demand in some semiconductor processes to clamp dielectric substrates such as sapphire, glass, and more. HES Industries has developed new interdigitated electrode
designs and manufacturing processes. This advanced design and manufacturing methodology allows customers to choose an optimal design based on their specific process requirements.
Our proprietary manufacturing process enables HES Industries to fabricate ESCs from 75mm to 450mm with customer specified geometries. All ESCs feature high clamping forces, quick chuck and de-chuck times, and anti-arc design for high bias application.