인터디지테이티드 전극 설계를 갖춘 하이브리드 ESC
당사 엔지니어는 고객과 협력하여 공구 성능 향상을 위한 최적화된 토탈 ESC 솔루션을 제공합니다. HES Industries는 당사의 독점 제조 공정을 통해 고객이 지정한 형상으로 100mm부터 450mm까지의 ESC를 제작할 수 있습니다. 모든 ESC는 높은 클램핑력, 빠른 척 및 디척킹 시간, 그리고 고바이어스 적용을 위한 아크 방지 설계를 갖추고 있습니다.
HES Industries는 유리 및 사파이어와 같이 전도성뿐만 아니라 유전체를 포함하는 다양한 소재의 클램핑 기능을 고객에게 제공합니다. 모든 ESC는 고객 사양을 완벽하게 충족하도록 테스트됩니다.
아래 표는 저희 ESC의 성능을 간략하게 보여줍니다. 정전척 제작 서비스에 대한 자세한 내용은 언제든지 문의해 주시기 바랍니다.
크기 및 기하학
100mm - 450mm; 맞춤형 디자인 베이스 플레이트
재료
양극 산화 알루미늄, 알루미나, DLC, SiN, SiO2, Ti
전극 설계
모노폴, 바이폴, 다극, 깍지형
기하 공차
평평하고 평행한 .0002 - .0004 인치(< 5μm - 10μm)
표면 마감
웨이퍼 클램핑 표면 <2μ 인치 Ra(0.05μm)
표면 패터닝
입자 전달을 줄이기 위한 맞춤형 메사 패턴
리퍼브
세라믹 ESC 표면 세척, 제거 및 교체
검사 및 성능 테스트
치수 정확도, 전기적 성능, 진공 무결성, 후면 가스 누출, 웨이퍼 클램핑 및 릴리스
분석 능력
FEM 및 CFD를 사용한 열 및 전기 성능, SEM 및 EDX
생산량
프로토타입에서 대량 생산까지
추가 정보
산업 초점
도구 제조업체
반도체
리소그래피
태양열
주도의
멤스
응용 프로그램
에칭 공정
HPD-CVD 및 PVD
이온 주입
계측학
유전체 기판(LED 및 태양광 응용 분야)
산업 표준
품질, 포장, 성능 및 청결을 포함한 주요 OEM 사양 준수
파일 형식
대부분의 소프트웨어(Solidworks, IGES, STEP, DXF)를 가져올 수 있습니다.