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재료 및 성능 매개변수
제품 설명
고급 인터디지테이티드 전극 ESC
클램프된 기판 재료
실리콘, 사파이어, 유리, GaAs, SoG
전극 분리
≥ 0.3mm
파괴 전압
> 20kV/mm
일반적인 작동 전압
Wafer clamping surface <2μ inch Ra (0.05μm)
클램핑 힘/압력
> 50 Torr, < 2 sccm 헬륨 누출률
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
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릴리스 및 클램프 시간
< 1초
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릴리스 및 클램프 시간
< 1초
릴리스 및 클램프 시간
< 1초
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