混合静电卡盘

凭借超过 25 年的经验，Hybrid Electrostatic Industries 采用咨询方法来提供满足或超过客户期望的个性化 ESC。

行业焦点

工具制造商

半导体

光刻

太阳的

引领

微机电系统

应用

蚀刻工艺

HPD-CVD 和 PVD

离子注入

计量学

介电基板（LED 和太阳能应用

行业标准

符合主要 OEM 规范，包括质量、包装、性能和清洁度

文件格式

可导入大部分软件； Solidworks、IGES、STEP、DXF

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静电吸盘

适用于 CVD、等离子蚀刻、离子注入和计量等半导体工具的各种静电卡盘。
夹头的尺寸范围从 150 毫米到 450 毫米。
HES 工业有限责任公司。根据每位客户的要求，设计、制造和全面测试这些产品的现场验证性能。
经证明具有高纯度、低颗粒生成和长工艺寿命。
HES Industries 与其客户合作，为复杂的产品开发开发完整的解决方案。

创新制造

HES Industries 拥有专门的研发和工程人员，致力于为每位客户提供个性化的服务和设计，以生产满足其应用的静电卡盘 (ESC)。

具有叉指电极设计的混合电调

在某些半导体工艺中，对夹住蓝宝石、玻璃等介电基板的要求很高。 HES Industries 开发了新的叉指电极设计和制造工艺。这种先进的设计和制造方法允许客户根据他们的特定工艺要求选择最佳设计。

Our proprietary manufacturing process enables HES Industries to fabricate ESCs from 75mm to 450mm with customer specified geometries. All ESCs feature high clamping forces, quick chuck and de-chuck times, and anti-arc design for high bias application.

混合静电卡盘

创新制造

具有叉指电极设计的混合电调

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