混合静电卡盘 

适用于 CVD、等离子蚀刻、离子注入和计量等半导体工具的各种静电卡盘。

夹头的尺寸范围从 150 毫米到 450 毫米。

HES 工业有限责任公司。根据每位客户的要求，设计、制造和全面测试这些产品的现场验证性能。

经证明具有高纯度、低颗粒生成和长工艺寿命。

HES Industries 与其客户合作，为复杂的产品开发开发完整的解决方案。