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旅程
Hybrid Electrostatic Industries, LLC 成立于 2019 年。然而,开发、设计和制造团队拥有超过 20 年的经验。名称可能会更改几次,但经验、支持和奉献精神仍然相同。
我们的队伍
John R. Miller,总裁/首席执行官
我于 1981 年被 IBM 聘为设计工程师,并在纽约东菲什基尔工作了 12 年。在随后的几年里,我在 Dorsey Gage、Praxair Surface Technologies 和 FM Industries 担任了许多职务,并在静电卡盘方面丰富了我的专业知识。直接监督 ESC 的设计和开发 has exposed me 到许多不同的半导体工艺和工艺工具。 HES Industries 虽然是一家新公司,但拥有悠久的历史,我对此感到非常自豪。
我相信我们可以将近三年来的经验传授给我们的客户,并提供能够超越我们行业关键需求的产品。

时间线
1988年

IBM 的 Watson 实验室开发了用于固定硅晶片的静电夹持。
1993

Dorsey Gage Co. 开发制造技术和程序以将 ESC 商业化
2001年

Praxair Surface Technologies 收购了 Dorsey Gage Co.,并通过陶瓷技术实现多元化。
2012

FM Industries 收购普莱克斯 ESC 业务
2019

Hybrid Electrostatic (HES) Industries 收购 FM Industries Ceramic ESC 部门。

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