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Material and performance parameters
产品描述
高级叉指型电调
夹紧的基板材料
硅、蓝宝石、玻璃
电极间隙
≥ 0.3mm
击穿电压
> 20 千伏/毫米
典型工作电压
± 1000 V 至 ± 4000 V
夹紧力/压力
> 50 Torr，< 2 sccm 气体泄漏率
释放和夹紧时间
< 1 秒
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产品描述
高级叉指型电调
夹紧的基板材料
硅、蓝宝石、玻璃
电极间隙
≥ 0.3mm
击穿电压
> 20 千伏/毫米
典型工作电压
± 1000 V 至 ± 4000 V
夹紧力/压力
> 50 Torr，< 2 sccm 气体泄漏率
释放和夹紧时间
< 1 秒