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ESC DESIGN PARAMETERS

产品描述

高级叉指型电调

夹紧的基板材料

硅、蓝宝石、玻璃

电极间隙

≥ 0.3mm

击穿电压

> 20 千伏/毫米

典型工作电压

± 1000 V 至 ± 4000 V

夹紧力/压力

> 50 Torr，< 2 sccm 气体泄漏率

释放和夹紧时间

< 1 秒

释放和夹紧时间

< 1 秒

释放和夹紧时间

< 1 秒

释放和夹紧时间

< 1 秒

释放和夹紧时间

< 1 秒

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释放和夹紧时间

< 1 秒

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释放和夹紧时间

< 1 秒

释放和夹紧时间

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