静电卡盘

我们的工程师与客户合作，提供优化的整体 ESC 解决方案，以提高工具性能。我们专有的制造工艺使 HES Industries 能够制造具有客户指定几何形状的 100 毫米至 450 毫米的 ESC。所有 ESC 均具有高夹持力、快速卡盘和去卡盘时间以及适用于高偏置应用的抗电弧设计。

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HES产业为客户提供各种材料的夹持能力，这些材料不仅具有导电性，而且具有介电性，例如玻璃和蓝宝石。所有 ESC 都经过测试，完全符合客户规格。

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下表概述了我们 ESC 的功能。如需详细了解我们的静电吸盘制造服务，请随时直接与我们联系以获取更多信息。